TSS-5X主要分析樣品表面對於2-22um吸收與反射的能力，相同的材質但不同的表面粗糙度，都會影響分析結果。如表面拋光與表面拉絲的不銹鋼，都會有分析上的差異。另外，金屬樣品中的鋁與氧化鋁，雖然氧化鋁層厚度不大，但亦有產生影響。